من أجل الحصول على فراغ عالي وفراغ فائق وفراغ عالي للغاية ، يتم توصيل مضخات تفريغ متعددة في سلسلة لتشكيل وحدة لإكمال مهمة الضخ. لذلك ، من المهم جدًا للمستخدمين اختيار مضخة فراغ اقتصادية لفهم مبدأ العمل والأداء الرئيسي والخصائص الهيكلية وتصنيف المضخة بشكل صحيح.
مضخة التفريغ هي جهاز يستخدم لتوليد الفراغ وتحسينه والحفاظ عليه. وفقًا لمبدأ عملها ، يتم تقسيمها بشكل أساسي إلى نوعين: مضخة نقل الغاز ومضخة التقاط الغاز.
مضخة نقل الغاز عبارة عن مضخة تفريغ يمكنها امتصاص الغاز وتفريغه باستمرار من المضخة للوصول إلى منفذ الشفط. تشتمل مضخة نقل الغاز هذه على فئتين: مضخة الإزاحة الإيجابية ومضخة نقل الزخم.
مضخة فراغ الإزاحة الإيجابية هي جهاز يستخدم التغيير الدوري لحجم حجرة المضخة لإكمال الشفط والضغط والعادم. يتم ضغط الغاز قبل تصريفه. تنقسم هذه المضخة إلى نوعين: الترددية والدوارة.
(1) تستخدم مضخة الفراغ الترددية الحركة الترددية للمكبس في غرفة المضخة لاستنشاق الغاز وضغطه وتفريغه. لذلك ، يطلق عليها أيضًا مضخة فراغ المكبس.
(2) مضخة فراغ دوارة يستخدم الحركة الدورانية للمكبس في حجرة المضخة لاستنشاق الغاز وضغطه وتفريغه. هناك العديد من أنواع المضخات التي تنتمي إلى هذه الفئة.
1) مضخة ميكانيكية محكمة الغلق بالزيت ، وهي عبارة عن مضخة تفريغ ذات إزاحة موجبة دوارة تستخدم الزيت لسد فجوات الأجزاء المتحركة المختلفة وتقليل المساحات الضارة. عادة ما يحتوي هذا النوع من المضخات على جهاز الصابورة الغازية ، لذلك يطلق عليه مضخة فراغ الصابورة الغازية. وفقًا لخصائصها الهيكلية ، فهي مقسمة إلى: مضخة دوارة دوارة ، ومضخة دوارة ثابتة ، ومضخة صمام منزلق ، ومضخة تروكويد ومضخة دوارة دوارة متعددة الغرف.
2) مضخة فراغ جاف. في الوقت الحاضر ، يشار إلى ما يسمى بالفراغ الجاف عمومًا على أنه: مضخة تفريغ يمكن أن تعمل في نطاق الضغط من الضغط الجوي إلى 10-2Pa ؛ في ممر هواء الضخ (مثل تجويف المضخة) ، لا يمكن استخدام أي مضخة فراغ. الزيوت والسوائل المانعة للتسرب. يتصل منفذ العادم بالجو ، وتسمى المضخة التي يمكن أن تستنفد باستمرار في الغلاف الجوي مضخة التفريغ الجاف. وفقًا لمبدأ عملها ، توجد أيضًا مضخات تفريغ موجبة جافة ، مثل مضخة الجذور متعددة المراحل ، ومضخة الكباس متعددة المراحل ، ومضخة المخلب ، والمضخة اللولبية ، ومضخة التمرير ، وما إلى ذلك ؛ هذا النوع من المضخات لم يعد ملوثًا بالزيت ، وهو نوع من المضخات تم تطويره مؤخرًا.
3) مضخة فراغ الحلقة السائلة ، يتم تثبيت الدوار ذو الشفرات المتعددة بشكل غريب في غلاف المضخة. عندما يدور الدوار ، يتم إلقاء السائل (الماء أو الزيت) على غلاف المضخة لتشكيل حلقة سائلة متحدة المركز مع غلاف المضخة. تشكل شفرات مضخة التفريغ عدة أحجام صغيرة مع تغيرات دورية في الحجم لتحقيق الشفط والضغط والعادم. نظرًا لأن الحلقة السائلة تلعب دور ضغط الغاز ، فإنها تسمى أيضًا مضخة تفريغ ذات مكبس سائل.
4) مضخة تفريغ الجذور ، المضخة مزودة بدورين مزدوج الضلع أو متعدد الفصوص يدوران بشكل متزامن في اتجاهين متعاكسين ، وهناك فجوة معينة بين الدوارات وبين الدوار والجدار الداخلي لغلاف المضخة. إنه ينتمي إلى مضخة التفريغ بدون ضغط داخلي. وفقًا للغرض ، فهي مقسمة إلى مضخة الجذور الرطبة ، ومضخة الجذور الجوية للعادم المباشر ومضخة التعزيز الميكانيكية.